潔凈室設(shè)備常識(shí)
潔凈室設(shè)備常識(shí)
01
認(rèn)識(shí)傳遞窗
傳遞窗是與潔凈廠房配合使用的空氣凈化設(shè)備,適用于潔凈室與潔凈室之間或潔凈室與非潔凈室之間的中、小型貨物傳遞。通過(guò)使用傳遞窗,可減少潔凈室的開(kāi)關(guān)門(mén)次數(shù),將潔凈區(qū)的污染降到低程度。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于微細(xì)科技、電子工業(yè)、生物實(shí)驗(yàn)室、制藥廠、醫(yī)院、食品加工業(yè)等空氣凈化場(chǎng)所。
傳遞窗采用不銹鋼板制作,平整光潔。雙門(mén)互為連鎖,有效阻止交叉污染,設(shè)有電子或機(jī)械連鎖裝置,并配置紫外線殺菌燈。
02
傳遞窗分類(lèi)
(一)按用途分為:標(biāo)準(zhǔn)型傳遞窗和潔凈型傳遞窗(帶空氣自凈裝置)兩種。
(二)按門(mén)互鎖形式分為:機(jī)械互鎖和電子互鎖兩種。
(三)外殼按材料分為:鋼板烤漆和全不銹鋼型兩種。
(四)按工作原理分為:風(fēng)淋式傳遞窗、普通傳遞窗、層流傳遞窗。
* 可選配件:對(duì)講機(jī)、殺菌燈等相關(guān)功能配件
(風(fēng)淋式傳遞窗)
(層流傳遞窗)
(普通傳遞窗)
03
CHD-11/12/13標(biāo)準(zhǔn)型傳遞窗
產(chǎn)品執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):
JG/T382-2012建筑工業(yè)傳遞窗行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
GB50073-2013潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
箱體選用優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼或鋼板烤漆,光潔平整易清潔;
雙門(mén)互鎖,有效阻止交叉污染;
專(zhuān)用衛(wèi)生級(jí)硅膠密封條,確保氣密性;
配有紫外殺菌燈,滿足GMP要求;
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)安全、安裝簡(jiǎn)易,潔凈室兼容性佳。
04
CHD-21/22/23潔凈型傳遞窗
產(chǎn)品執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):
JG/T382-2012建筑工業(yè)傳遞窗行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
GB50073-2013潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
箱體選用優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼或鋼板烤漆,光潔平整易清潔;
頂部送風(fēng),配有H14高效過(guò)濾器(99.995%~99.999%@0.3um),實(shí)現(xiàn)100級(jí)凈化;
雙門(mén)互鎖,有效阻止交叉污染;
專(zhuān)用衛(wèi)生級(jí)硅膠密封條,確保氣密性;
配有紫外殺菌燈,滿足GMP要求;
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)安全、安裝簡(jiǎn)易,潔凈室兼容性佳。
潔凈室工藝設(shè)備防微振平臺(tái)施工工法
1.引言
近年來(lái)高科技產(chǎn)業(yè)在國(guó)內(nèi)經(jīng)濟(jì)發(fā)展上有著舉足輕重的作用,半導(dǎo)體晶片、TFT-LCD平面顯示等大型的廠房也在國(guó)內(nèi)不斷的興建,規(guī)模也在不斷的擴(kuò)大。隨著各種高科技產(chǎn)業(yè)制程越來(lái)越精密,相關(guān)的儀器設(shè)備對(duì)于環(huán)境振動(dòng)隔離的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有許多設(shè)備都必須考慮降低環(huán)境振動(dòng),如檢驗(yàn)設(shè)備SEM、SPM、TEM、曝光設(shè)備scanner、stepper、橢圓偏光儀等等,幾乎每一臺(tái)設(shè)備都需要安裝隔振系統(tǒng)。正因?yàn)槿绱?,潔凈室工藝設(shè)備防微振平臺(tái)施工顯現(xiàn)的尤為重要。
2.工法特點(diǎn)
2.1 需要設(shè)立防微振動(dòng)平臺(tái)的設(shè)備是比較精密的設(shè)備,一般放置在潔凈室內(nèi),施工作業(yè)時(shí)需要注意安全、清潔;本工法采用材料均為鋼結(jié)構(gòu),不易產(chǎn)塵,從長(zhǎng)期使用角度講有利于潔凈度的保持。
2.2 隨著生產(chǎn)工藝的不斷提高,生產(chǎn)設(shè)備對(duì)其基礎(chǔ)的振動(dòng)要求也越來(lái)越高,廠房?jī)?nèi)的活動(dòng)地板已經(jīng)不能滿足,需要安裝隔振系統(tǒng)。防微振動(dòng)平臺(tái)的設(shè)立,解決了這個(gè)問(wèn)題。
2.3 由于平臺(tái)與廠房?jī)?nèi)的活動(dòng)地板是相隔開(kāi)的,大大堵隔了除設(shè)備本身以外的其他振動(dòng),減少了環(huán)境振動(dòng)對(duì)設(shè)備的影響,使得生產(chǎn)能夠平穩(wěn)高效的運(yùn)行。因而防微振動(dòng)平臺(tái)也被形象得稱(chēng)為獨(dú)立基礎(chǔ)。
2.4 鋼平臺(tái)的施工相對(duì)其他平臺(tái)而言,施工周期比較短,安裝比較簡(jiǎn)單,能更早地使生產(chǎn)設(shè)備投入生產(chǎn)。拿混凝土平臺(tái)做對(duì)比,其安裝時(shí)間一般在4~6周,而鋼平臺(tái)的安裝周期一般在2~3周,施工的時(shí)間上縮短了一半。而且鋼平臺(tái)在廠房?jī)?nèi)運(yùn)輸時(shí)為散件,無(wú)需整件運(yùn)輸,相對(duì)比較安全,減少更為復(fù)雜的安全保護(hù)措施。
3.適用范圍
適用于經(jīng)過(guò)調(diào)試并已經(jīng)具備一定潔凈度等級(jí)的潔凈廠房?jī)?nèi),對(duì)基礎(chǔ)有一定微振動(dòng)要求的設(shè)備。
4.工藝原理
將平臺(tái)設(shè)立在地面或者格柵板上,與原有的活動(dòng)地板分離,使之不與活動(dòng)地板相互傳遞振動(dòng),阻隔相鄰設(shè)備所產(chǎn)生的防微振。通過(guò)自身的結(jié)構(gòu)構(gòu)造,將防微振動(dòng)控制在振動(dòng)規(guī)范或設(shè)備對(duì)基礎(chǔ)的要求之內(nèi),能夠獨(dú)立吸收來(lái)自設(shè)備本身運(yùn)作產(chǎn)生的振動(dòng)的能量,避免潔凈室建筑結(jié)構(gòu)(比如樓板、梁等)所產(chǎn)生的防微振動(dòng)對(duì)其產(chǎn)生影響。
5.施工工藝流程及操作方法
5.1施工工藝流程
施工前期準(zhǔn)備→確定設(shè)備以及平臺(tái)安裝位置→平臺(tái)加工→平臺(tái)搬運(yùn)及組裝→平臺(tái)試驗(yàn)
5.2操作方法
5.2.1施工前準(zhǔn)備
施工前的準(zhǔn)備工作尤為重要,他關(guān)系到后面的安裝的精確程度。施工前對(duì)圖紙進(jìn)行認(rèn)真解讀和審核,防微振動(dòng)平臺(tái)一般采用不銹鋼材料和鍍鋅材料制作。對(duì)加工件的要求很高,要求加工件精確到位,這樣才能保證安裝的一次性完成。