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潔凈室復(fù)合氣流特性簡介
復(fù)合類型是將湍流和層流合并或合并,可提供局部超凈空氣。
(1)清潔隧道:使用HEPA或ULPA過濾器對過程區(qū)域或工作區(qū)域進(jìn)行100%的覆蓋,可將清潔度提高到10以上,從而可以節(jié)省安裝和運營成本。 這種類型需要將操作員的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機(jī)器維護(hù)隔離開,以避免在機(jī)器維護(hù)期間影響工作和質(zhì)量。此類型主要用于ULSI流程中。 清潔的隧道還有另外兩個優(yōu)點:A.靈活的擴(kuò)展很容易; B.設(shè)備的維護(hù)可以在維護(hù)區(qū)域輕松進(jìn)行。
(2)清潔管:封閉并凈化產(chǎn)品加工過程所通過的自動生產(chǎn)線,并將清潔度提高到100以上。由于產(chǎn)品與操作員和粉塵產(chǎn)生環(huán)境隔離,因此少量空氣可以獲得良好的清潔度,可以節(jié)省能源,不需要人工的自動化生產(chǎn)線。適用于制藥,食品和半導(dǎo)體行業(yè)。
(3)組合式局部潔凈室(Clean Spot):將湍流潔凈室中產(chǎn)品加工區(qū)的潔凈度水平從10,000到100,000提高到10到1,000或更高;干凈的工作臺,干凈的工作棚和干凈的風(fēng)柜屬于此類。 無塵工作臺:1?100級。 潔凈棚:為了用防靜電透明塑料布在動蕩的潔凈室空間內(nèi)圍成一小塊空間,請使用獨立的HEPA或ULPA和空調(diào)鼓風(fēng)機(jī)單元作為更高級別的潔凈空間,等級為10? 1000,高度約為2.5米,占地面積小于10m2,可使用四個支柱和附加的可移動輪以提高靈活性。
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